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第65章 参观晶圆厂流水线(上)

晶圆厂食堂。

餐桌上的氛围十分尴尬,首先是蓝展博,总是有意无意地和王向中以及金圆圆保持着距离,而白马也是知道自己闯了大祸,一改往常的话痨性格,只是在那闷头吃着饭。

叶志华倒还是和原来一般模样,只是偶尔吃两口,便会抬头看看自己几个学生的神态和反应,旋即又摇摇头继续吃饭。

金圆圆则也是闷头吃着自己的饭,一言不发,也不抬头,选择做一个隐身人。

王向中也只能板着尴尬的脸色,嚼着发苦的馒头,喝着发涩的汤,如今场面是他自己自找的,也怪不了谁。

他倒是身正不怕影子歪,只是怕两件事,一是发生这事对金圆圆的声誉有所影响,二来是自己在别人眼中的评价会降到冰点。

就拿蓝展博来说,本来他就看不惯王向中,现在的话,恐怕会直接将王向中当成一个无耻淫贼看待了。

今天的早餐仍然是由牛玉鹏负责接待,他瞧见几个人都是一言不发的样子,还以为他们仍然在为昨天王向中的话而耿耿于怀,继而便是笑道:“我说王老弟啊,年轻人行将就错,是可以理解的。”

“嗯?”王向中瞳孔一震,真是没想到这事竟然传的这么快,居然让牛主任知道了,这未免有些太丢人,于是便也神色尴尬地回应道:“牛主任教训的是。”

见到王向中认错,牛玉鹏也不是个小家子气人,当即也是豪爽表示道:“以后这种事啊,要低调着做,不要太高调。很正常嘛,有时候不在乎别人的眼光,也是一种勇气的表现……”

说着说着,饭桌上几人的表情更是精彩起来。

牛玉鹏见到几人神色怪异,也是露出一副错愕的表情,声音也是逐渐小了起来,他有点不明白,是不是自己说错了什么……

一直到了参观晶圆厂净室之时,气氛才稍稍缓解下来。

“这里就是我们晶华的净室了。”牛玉鹏指着不远处一栋约莫五六层高的建筑,笑着解释道:“这里也就是生产晶圆的核心区域。”

毕竟他们是来指导晶圆生产流水线的,昨天王向中和金圆圆逛的是硅片的生产线,自然不属于晶圆生产的范畴之内,因此也并没有从头开始参观。

“很奇怪啊,如果停工一段时间,晶圆的良品率就会有所上升,但是在工作一段时间后,晶圆良品率就不行了,经常出现大面积晶体管损毁的现象。昨天是开工的第一天,所以今天的良品率还算是可以。”

牛玉鹏也是叹了一口气,继续补充道:“我们怀疑可能是哪套环节出现了问题,所以还请各位专家多多看看,分析一下问题的原因。”

叶志华也是面色沉重地点了点头,他也知道,这次几人背负的任务还是挺重的,就连他也没有信心,一定能抓住问题本质核心所在。

王向中一听到这话便知道,这问题大概率就是出在硅片生产线上了。在这个年代,即使有废气过滤系统,对氯化氢分子进行中和处理,但依然还是会有不少氯化氢气体逃逸而出,接着通过通风系统进入净室之内。

虽然氯化氢在常温下不与硅直接反应,但是在PN二极管上的硼,以及金属电路所使用的铝,则就没那么幸运了,它们会与氯化氢共同反应,直接破坏电路上的结构,从而导致废品率明显增多。

但除了金圆圆之外,所有人都不知道,其实这个问题早就被王向中一眼就给破解了,其关键问题根本就没有出在内部生产线中,而是外部的硅片生产线上。

当然王向中也不可能现在就把这个问题说出来,他还需要更多的细节来验证自己的猜想。

几人跟着牛玉鹏上了楼,便隐约听到前面房间里呼啸而来的风声。

“前面就是净室了,”被噪音影响,牛玉鹏的声音也不自觉地大了几分,“一会咱们就要换衣服进入净室了,先声明一下,里面不能吃东西,不能脱口罩,不能咳嗽挠痒,以防止污染物流入生产线,听明白了没有?”

几人听到牛玉鹏的话,皆是点了点头。

净室,顾名思义,即是干净的生产室。这条5英寸的晶圆生产线,制程约在0.9微米左右,普通的灰尘等颗粒污染物,其直径尺寸大概就是几微米左右的样子,一旦在生产线上出现灰尘颗粒,极有可能直接将数张甚至数百张晶圆直接报废,所以需要格外谨慎。

净室不仅在温度、湿度、压强等指标方面控制相当严格,就连微震动指标,也是它所关心的数据之一,就拿光刻机来说,只要出现一点点震动,就可能导致光掩模偏离,或者光源不稳等情况,直接报废晶圆。

这个年代都还好,在未来纳米级别的芯片时代,就连患了感冒都不被允许进入净室,要知道一颗病毒的直径大多就在一百纳米左右,只要一个不慎,一口喷嚏下去,暂且还不提震动的事情,就算是这口喷嚏中的病毒,直接的经济损失至少也是数十万……

等到他们穿戴好防尘服,静电鞋,以及防尘目镜和口罩,在一番仔细检查,确认头发等细物都未暴露在空气中时,方才被允许进入气锁室内,进行下一步的除尘工作。

晶华净室使用的还是紊流洁净室方案,也就是顶层布置少量风机,两侧开设回风口,通过气流压强进行气流循环,以保证整体的洁净度。

这种紊流洁净室的优点是整体价格比较低,部署周期相对较短,在这个年代属于比较常见的净室方案。

在未来,层流洁净室将会代替这种古老的方案,通过大量风机垂直对准地板上的出风口,将均匀的气流对整体形成循环,以保证最少的杂质和异物进入生产线中。

“我们一般都是使用四探针法,对硅棒进行整体的良率测试,探测出它的轴向杂质浓度,以确认该晶圆是否可以正常使用。”

“一般送到这里的硅棒都已经是初步处理过了,已经将硅棒初步剪裁,大概每一段都是三十厘米左右的样子。”

牛玉鹏指着屋内正在不停运转的机器,继续介绍道:“这个就是内圆切割机,用于将硅棒切割成晶圆。”

众人望过去,数十台白色的机器正在其内不断运转,然后自动打包出不少半透明的盒子,而盒子里面,装的就是一片一片的晶圆。

晶圆相对还是很重的,而且在这个年代,大多都是使用人工进行晶圆运输工作,就比如此时,王向中就看到两个工作人员,正小心翼翼地将装有晶圆的透明盒子缓缓卸下,放在小推车上。

晶圆说白了,就是一整片硅单质,它在常温下是高脆度的固体形态,即使是工作人员已经足够小心了,但只要有一个磕碰,就可能导致晶圆表面出现肉眼不可见的裂缝,从而使得良品率下降。

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